Nació en la ciudad de Santisteban del Puerto en 1607, hijo de Francisco de Benavides y de la Cueva, séptimo Conde de Santisteban del Puerto, y de Brianda de Bazán y Benavides, hija de Álvaro de Bazán, primer Marqués de Santa Cruz. Se trasladó a Madrid para estudiar, donde recibió una educación humanística de los jesuitas en el Colegio Imperial de Madrid, y más tarde a la Universidad de Salamanca, como estudiante de San Bartolomé.
Luchó en Aragón y Portugal, y obtuvo la condecoración de Monreal por la Orden de Santiago, de la que fue caballero y trece de la orden. Después de la guerra con Portugal en 1643, fue nombrado Capitán General de las Fronteras y más tarde Gobernador y Capitán General de Galicia. En 1653 fue nombrado Virrey y Capitán General de Navarra. Por sus inestimables servicios diplomáticos en las negociaciones de 1659 (Paz de los Pirineos) y el posterior matrimonio de la Princesa María Teresa de Austria con Luis XIV de Francia, el Rey Felipe IV de España elevó su señorío de Solera a marquesado, creando el Marquesado de Solera.
Como escritor, los epigramas en latín del humanista de Gienna D. destacan entre sus obras. Diego de Benavides y de la Cueva (epigramas latinos) y Horae succisiuae siue Elucubrationes. Esta última obra es una antología poética compilada por sus hijos Manuel y Francisco de Benavides que fue publicada en 1660 (Segunda edición, 1664).
En 1661 fue nombrado virrey del Perú, llegando a Lima el 31 de diciembre. Durante su administración se preocupó mucho por la condición de los indios, en particular por su educación y condiciones de trabajo, estableciendo la llamada Ordenanza de Obras en 1664.
Se enfrentó a terremotos y epidemias, y pudo erradicar las disputas mineras de los españoles. Construyó el Hospital de San Bartolomé y también el primer teatro de Lima. Su tercera esposa se destacó en el mandato de su marido como prevaricadora, ya que su mayor tarea era vender cargos públicos, así como asistir a fiestas y eventos públicos.
Murió en la ciudad de Lima el 19 de marzo de 1666.
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