En 1913 el Presidente William Billinghurst lo nombró Jefe del Estado Mayor, pero poco después fue destituido de su cargo por negarse a participar en la disolución del Congreso, ordenada por el propio Presidente. El 4 de febrero de 1914 dirigió el golpe de Estado que derrocó a Billinghurst; primero dirigió una junta militar y luego actuó como presidente interino hasta 1915. Desde su presidencia militar, intentó imponer orden a la grave turbulencia social que vivía el país, pero la presión política de sus adversarios hizo que la Junta abandonara el poder después de que José Pardo y Barreda fuera elegido presidente por sufragio.
Con la toma de posesión de Pardo y Barreda el 18 de agosto de 1915, Oscar Benavides fue comisionado para varias misiones diplomáticas en Europa, ya que se creía que era un hombre peligroso para la estabilidad del nuevo gobierno. Fue enviado a Francia como observador de la Primera Guerra Mundial, que entonces estaba en su apogeo. Al año siguiente se desempeñó como Ministro Plenipotenciario en España, renunciando tres años después. Más tarde fue nombrado embajador en España y luego en Italia. Cuando regresó a Perú, pidió su pase para el retiro.
A pesar de ello, volvió a participar activamente en la política peruana tras el golpe militar que puso fin al largo mandato (1919-1930) del presidente Augusto B. Leguía. Las juntas militares de gobierno se sucedieron, aumentando la inestabilidad del país. El populismo del general Leguía había terminado por desembocar en una insurrección popular, patrocinada también por las minorías burguesas y ciudadanas que constituían el núcleo votante de la recién fundada APRA (Alianza Revolucionaria Popular Americana), reunida por Víctor Raúl Haya de la Torre.
Tras el golpe militar, Óscar Benavides fue el hombre de confianza del presidente militar, el general Luis M. Sánchez Cerro, especialmente en la represión de la revuelta del APRA en el norte del país. Tras el asesinato de Sánchez Cerro en 1933, Óscar Benavides y el gobierno militar optaron por ofrecer garantías de elecciones libres a cambio del cese de las hostilidades. Así, Óscar Benavides volvió a ser presidente del Perú, pero esta vez presidente constitucional, al ser elegido por el Congreso Constituyente e inaugurado el 30 de abril de 1933.
La inestabilidad social y el estancamiento de las importaciones peruanas, motivados por la grave crisis económica desde el crack de la bolsa americana de 1929, fueron los grandes enemigos del gobierno de Óscar Benavides. Convocó a elecciones generales en 1936, pero ante la aparente victoria del APRA decidió anular las elecciones y permanecer en el gobierno hasta 1939. El 8 de diciembre de 1939 fue sustituido en la presidencia por Manuel Prado y Ugarteche.
En 1940, Benavides recibió el bastón de mando del Mariscal del Perú. Más tarde volvió a la diplomacia, como embajador en España y Argentina. Desde Buenos Aires jugó un papel importante en las negociaciones que culminaron en el Protocolo de Río de Janeiro y que resolvieron el antiguo conflicto fronterizo con Ecuador. Ya en 1944, y cerca del final del mandato de Prado, fue uno de los promotores del Frente Democrático Nacional, que reunió al APRA y a otros partidos.
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